四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備
四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國A.S.T.M標準而設計的,專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。儀器由主機、探針測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成,測量數(shù)據(jù)既可由四探針測試儀主機直接顯示,亦可與計算機相連接通過四探針軟件測試系統(tǒng)控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者...