四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國A.S.T.M標準而設(shè)計的，專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
儀器由主機、探針測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由四探針測試儀主機直接顯示，亦可與計算機相連接通過四探針軟件測試系統(tǒng)控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。
儀器采用了最新電子技術(shù)進行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。
設(shè)備保養(yǎng)：
經(jīng)常保持設(shè)備和計算機的清潔、衛(wèi)生。
預(yù)防高溫、過濕、灰塵、腐蝕性介質(zhì)、水等浸入機器或計算機內(nèi)部。
定期檢查，保持零件、部件的完整性。
注意事項：
1、儀器操作前請您仔細閱讀使用說明書，規(guī)范操作
2、輕拿輕放，避免儀器震動，水平放置，垂直測量
3、儀器不使用時請切斷電源，連接線無需經(jīng)常拔下，避免灰塵進入航空插引起短接等現(xiàn)象
4、探針筆測試結(jié)束，套好護套，避免人為斷針
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
